GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

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标准编号：GB/T 40566-2021

标准名称：流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

标准类型：推荐性

标准英文：Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

标准状态：现行

发布日期：2022-05-01

实施日期：2021-10-11

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H82

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

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