GB/T 20230-2022 磷化铟单晶

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标准编号：GB/T 20230-2022

标准名称：磷化铟单晶

标准类型：推荐性

标准英文：Indium phosphide single crystal

标准状态：现行

发布日期：2022-10-01

实施日期：2022-03-09

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H83

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 20230-2006

起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所广东先导微电子科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司 云南鑫耀半导体材料有限公司 有研国晶辉新材料有限公司

起草人：孙聂枫 李晓岚 惠峰 李素青 邵会民 周铁军 王博 张晓丹 王阳刘惠生朱刘王书杰史艳磊付莉杰姜剑王宇