GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

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标准编号：GB/T 41652-2022

标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环

标准类型：推荐性

标准英文：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine

标准状态：现行

发布日期：2023-02-01

实施日期：2022-07-11

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H 82

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：有研半导体硅材料股份公司新美光（苏州）半导体科技有限公司 山东有研半导体材料有限公司 浙江海纳半导体有限公司

起草人：库黎明 孙燕 夏秋良 潘金平 闫志瑞张果虎