GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

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标准编号：GB/T 41765-2022

标准名称：碳化硅单晶位错密度的测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide

标准状态：现行

发布日期：2023-05-01

实施日期：2022-10-12

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司

起草人：彭同华 佘宗静 赵宁 王波 李素青 娄艳芳王大军郭钰杨建