GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

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标准编号：GB/T 42276-2022

标准名称：氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method

标准状态：现行

发布日期：2023-04-01

实施日期：2022-12-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：新特能源股份有限公司瑞士万通中国有限公司青岛盛瀚色谱技术有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司青岛瓷兴新材料有限公司 新疆晶硕新材料有限公司 江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司 青岛普仁仪器有限公司 江苏联瑞新材料股份有限公司

起草人：银波 邱艳梅 李素青 张吉武 王港 李玫 侯倩慧 王晓娇 崔巍 刘国霞黄彬宋炳信鲁文锋张正霞吴英良曹家凯高裕昆