GB/T 37211.3-2022 金属锗化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法

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标准编号：GB/T 37211.3-2022

标准名称：金属锗化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Method for chemical analysis of metal germanium—Part 3: Determination of trace impurity elements content—Glow discharge mass spectrometry

标准状态：现行

发布日期：2023-04-01

实施日期：2022-12-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：安徽光智科技有限公司国标（北京）检验认证有限公司东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司广东先导稀材股份有限公司 云南驰宏锌锗股份有限公司 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 有研国晶辉新材料有限公司 广东飞成新材料有限公司

起草人：朱赞芳 谭秀珍 吴王昌 黎亚文 李正美 崔丁方 廖吉伟刘红李瑶刘英波李江霖段春芳