GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

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标准编号：GB/T 25915.13-2022

标准名称：洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

标准类型：推荐性

标准英文：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

标准状态：现行

发布日期：2023-07-01

实施日期：2022-12-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：环保、保健和安全

国内标准分类号：C70

国际标准分类：13.040.35

技术归口：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

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