GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

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标准编号：GB/T 33523.603-2022

标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

标准类型：推荐性

标准英文：Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture: Areal—Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments

标准状态：现行

发布日期：2023-04-01

实施日期：2022-12-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：计量学和测量、物理现象

国内标准分类号：J04

国际标准分类：17.040.20

技术归口：全国产品几何技术规范标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：清华大学深圳市中图仪器股份有限公司中机生产力促进中心有限公司广州计量检测技术研究院 山东大学 哈尔滨工业大学 中国计量科学研究院 中机研标准技术研究院（北京）有限公司

起草人：尉昊赟 闫鹏 施玉书 代鲲鹏 马俊杰刘俭朱悦