GB/T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷

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标准编号：GB/T 42720-2023

标准名称：电子特气 六氯乙硅烷

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane

标准状态：现行

发布日期：2024-03-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：洛阳中硅高科技有限公司亚洲硅业（青海）股份有限公司福建久策气体股份有限公司广东华特气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司浙江博瑞电子科技有限公司湖北和远气体股份有限公司内蒙古兴洋科技股份有限公司宁夏胜蓝化工环保科技有限公司太和气体（荆州）有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海市计量测试技术研究院宿州伊维特新材料有限公司南大光电半导体材料有限公司空气化工产品（中国）投资有限公司绍兴科艺标准技术咨询有限公司浙江西亚特电子材料有限公司和立气体（上海）有限公司衢州杭氧特种气体有限公司 昊华气体有限公司 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 湖州市南浔区佰通标准化研究院 苏州金宏气体股份有限公司 北京高麦克仪器科技有限公司 玉门大洋天庆石化有限责任公司 三峡大学 福建德尔科技股份有限公司 武汉新硅科技潜江有限公司 昊华气体有限公司西南分公司 上海申南特种气体有限公司 大连大特气体有限公司 中国计量科学研究院 联雄投资(上海)有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司 浙江炬和科技有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 浙江东开半导体科技有限公司 昆明广瑞达特种气体有限责任公司 西南化工研究设计院有限公司

起草人：万烨 王娟 严大洲 郭琼 柳彤 沙婷 张天泽 廖恒易 孙猛 傅铸红 刘丽娜 张广第 曹小林 方强 杨华志 华祥斌 李楷东 阳辉 罗旭 陈洁 孙小伟 姚显章 尹冬梅 胡树国 杨康 黄辉 李倩 董硕 王大为 杨利 梁永强 梁成科 马昌宁 赵刚 张园园付梦月陈海宝魏东亮曹素英陈辉陈艳珊金向华欧基友牛艳东马彬淇杜大艳袁有录陶刚义李纪明沈俊汪正宏常侠吴靓方华李春华姜阳秦远望何波陈德义王晶顾大正宫兵钱叶超吴乾康高静毛玲玲赖晓峰周鹏云