GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

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标准编号：GB/T 42789-2023

标准名称：硅片表面光泽度的测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for gloss of silicon wafer

标准状态：现行

发布日期：2024-03-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司山东有研半导体材料有限公司麦斯克电子材料股份有限公司浙江旭盛电子有限公司金瑞泓科技（衢州）有限公司 浙江海纳半导体股份有限公司 天津中环领先材料技术有限公司 上海合晶硅材料股份有限公司 广东金湾高景太阳能科技有限公司 巢湖学院

起草人：梁兴勃 李琴 潘金平 李素青 边永智 庄智慧 韩云霄 徐志群 王可胜 张海英林松青张雪囡由佰玲沈辉辉焦二强付明全詹玉峰