GB/T 24582-2023 多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法

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标准编号：GB/T 24582-2023

标准名称：多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring surface metal impurity content of polycrystalline silicon—Acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry method

标准状态：现行

发布日期：2024-03-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 24582-2009

起草单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司宜昌南玻硅材料有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司新疆新特新能材料检测中心有限公司江苏鑫华半导体科技股份有限公司 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 青海芯测科技有限公司 新疆大全新能源股份有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司 新疆协鑫新能源材料科技有限公司

起草人：尹东林 郑连基 蔡延国 李素青 刘文明 薛心禄 徐岩 曹岩德 赵培芝 万首正 刘海月 王春明 刘军魏东亮侯海波田洪先王彬于生海姜士兵邱艳梅赵娟龙申梅桂