GB/T 43916-2024 真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度

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标准编号：GB/T 43916-2024

标准名称：真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度

标准类型：推荐性

标准英文：Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges

标准状态：现行

发布日期：2024-04-25

实施日期：2024-04-25

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：流体系统和通用件

国内标准分类号：J78

国际标准分类：23.160

技术归口：全国真空技术标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国计量科学研究院兰州空间技术物理研究所安徽歌博科技有限公司安徽万瑞冷电科技有限公司广州涂氏精怡科技有限公司广东唯沃科技有限公司深圳市恒运昌真空技术有限公司安徽精一门科技发展有限公司中科九微科技有限公司 上海振太仪表有限公司 淄博市计量技术研究院 湖南维格磁流体股份有限公司 沈阳汇真真空技术有限公司 惠州市宇之光科技有限公司 河南华佳新材料技术有限公司 中核第七研究设计院有限公司 四川新途流体控制技术有限公司 沈阳真空技术研究所有限公司

起草人：于红燕 王金库 成永军 高翔 朱迎青 言继春 宋青竹 李智慧 张海鹰 刘宝灵 潘周 周廷志 裴晓强 吴成耀 王玲玲 丁基敏唐云剑孙雯君崔永凤言文静丁怀况涂进红蒋振兰乐卫平李峥鸣孙围华赵澜丁栋刘君明

GB/T 43916—2024/ISO 20146:2019目次前言………….1范围…2规范性引用文件3术语和定义….3.1组成…..3.2物理参数++++*3.3其他参数4缩略语5电容薄膜真空计5.1原理..6电容薄膜真空计规范6.1电容薄膜真空计类型6.2规管温度控制6.3信号输出单元的显示和测量.·..·...6.4电容薄膜真空计的测量范围6.5目标测量不确定度6.6零点和全量程的温度系数6.7分辨力……6.8规管响应时间6.9预热时间6.10允许压力（最大负载压力）6.11破坏压力（爆破压力)·6.12接触气体的材料.…．6.13规管安装方向…6.14腔室的接口…….6.15内部容积·6.16接口和引脚连接6.17规管和控制器的兼容性.6.18规管和控制器的尺寸和质量6.19常规工作（环境）条件…6.20储存和运输条件6.21供电要求……….7电容薄膜真空计附加（可选）规范