GB/T 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法

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标准编号：GB/T 43313-2023

标准名称：碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics

标准状态：即将实施

发布日期：2024-06-01

实施日期：2023-11-27

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所常州臻晶半导体有限公司厦门坤锦电子科技有限公司广东天域半导体股份有限公司中国科学院半导体研究所浙江东尼电子股份有限公司 山东天岳先进科技股份有限公司 湖州东尼半导体科技有限公司 中国电子科技集团公司第十三研究所 有色金属技术经济研究院有限责任公司 ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司

起草人：姚康 刘立娜 马春喜 高飞 郑红军 房玉龙 刘薇 李嘉炜 杨玉聪 黄树福 何烜坤李素青张红岩陆敏芦伟立丁雄杰晏阳钮应喜