GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

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标准编号：GB/T 43748-2024

标准名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

标准类型：推荐性

标准英文：

标准状态：即将实施

发布日期：2024-10-01

实施日期：2024-03-15

标准语言：中文

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GB/T 43748—2024目次前言·………·引言1范围2规范性引用文件。3术语和定义4符号和缩略语5方法原理·6仪器设备7试样。8试验步骤·9测量结果的不确定度评定10试验报告附录A（资料性）SiN薄膜层厚度测量结果的不确定度评定示例参考文献·10GB/T43748—2024前本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。本文件起草单位：广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米(苏州)股份有限公司。本文件主要起草人：伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫。