GB/T 43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法

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标准编号：GB/T 43915-2024

标准名称：纳米几何量标准样板测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Testing method for nano geometric standard samples

标准状态：即将实施

发布日期：2024-11-01

实施日期：2024-04-25

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：计量学和测量、物理现象

国内标准分类号：J42

国际标准分类：17.040.30

技术归口：全国量具量仪标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所同济大学中国计量科学研究院中国测试技术研究院 成都工具研究所有限公司 上海市计量测试技术研究院 天津大学 广西壮族自治区计量检测研究院 苏州天准科技股份有限公司

起草人：吴爱华 付兴昌 邹学锋 韩志国 冯亚南 梁法国 朱振宇 李强 傅云霞 曾艳华 刘庆纲 张恒 冉庆 曹葵康 李锁印许晓青赵琳张晓东许刚何宜鲜万宇雷李华管钰晴邓晓施玉书苏翼雄

SGB/T43915—2024目次前言·…·ee1范围·……·2规范性引用文件3术语和定义……·…··4测试方法分类及原理·………·4.1纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理4.2纳米线宽标准样板测试方法分类及原理，24.3纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理4.4纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理+eeeee35测试设备·…··55.1设备选择5.2设备要求······56测试环境……··…·o7测试程序，···.··..·67.1個外观67.2纳米线间隔标准样板测试67.3纳米线宽标准样板测试.·.··.·***.67.4≤纳米台阶高度标准样板测试67.5纳米膜厚标准样板测试8测试数据处理·······8.1纳米线间隔标准样板测试数据处理.......8.2纳米线宽标准样板测试数据处理.e.+.+8.3纳米台阶高度标准样板测试数据处理8.4纳米膜厚标准样板测试数据处理附录A（资料性）标准样板测试记录」·····.·····000000000000000009参考文献…·…·.….10