DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
标准编号：DB13/T 5631-2022
标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
所属地方：河北省
标准状态：现行
发布日期：2022-12-26
实施日期：2023-01-26
标准语言：中文
发布部委：河北省市场监督管理局
国内标准分类号：L 90
国际标准分类：81.040.30
技术归口：
标准类别：方法标准
代替标准：
起草单位：
起草人：
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