SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

该文档还未正式上传请联系人工客服处理

需要人工协助寻找标准请加微信：msxygy666666 尽可能解决您的需要。

标准编号：SJ/T 11502-2015

标准名称：碳化硅单晶抛光片规范

标准状态：现行

发布日期：2015-04-29

实施日期：2015-09-30

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：电子

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：H83

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等

起草人：丁丽、郑红军、蔺娴 等