GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

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标准编号：GB/T 29852-2013

标准名称：光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

标准状态：现行

发布日期：2014-04-15

实施日期：2013-11-12

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H82

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心 中国电子技术标准化研究院 天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人：马农农 何友琴 冯亚彬 裴会川 王东雪何秀坤