GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅

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标准编号：GB/T 31058-2014

标准名称：电子工业用气体 四氟化硅

标准类型：推荐性

标准英文：Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride

标准状态：现行

发布日期：2015-07-01

实施日期：2014-12-22

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司绿菱电子材料（天津）有限公司贵州大学 佛山市华特气体有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院有限公司

起草人：邓建平 李于教 崔学文 方华 傅铸红汤有伦