GB/T 31469-2015 半导体材料切削液

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标准编号：GB/T 31469-2015

标准名称：半导体材料切削液

标准类型：推荐性

标准英文：Semiconductor materials cutting fluid

标准状态：现行

发布日期：2016-01-01

实施日期：2015-05-15

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L90

国际标准分类：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：扬州华裕光伏材料有限公司扬州市职业大学中国电子技术标准化研究院 西安飞讯光电有限公司 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司

起草人：缪德俊 徐蓉艳 丁浩 郭倩 缪立山彭新玲蒲学军