GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
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标准编号:GB/T 32278-2015
标准名称:碳化硅单晶片平整度测试方法
标准类型:推荐性
标准英文:Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态:现行
发布日期:2017-01-01
实施日期:2015-12-10
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:冶金
国内标准分类号:H21
国际标准分类:77.040
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司 中国科学院物理研究所
起草人:陈小龙 郑红军 张玮郭钰
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