GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法

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标准编号：GB/T 32278-2015

标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers

标准状态：现行

发布日期：2017-01-01

实施日期：2015-12-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司 中国科学院物理研究所

起草人：陈小龙 郑红军 张玮郭钰