GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

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标准编号：GB/T 24578-2015

标准名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy

标准状态：现行

发布日期：2017-01-01

实施日期：2015-12-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 24578-2009

起草单位：有研新材料股份有限公司浙江省硅材料质量检验中心 万向硅峰电子股份有限公司

起草人：孙燕 李俊峰 朱兴萍 楼春兰潘紫龙