GB/T 44538-2024 碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

点击我下载

标准编号：GB/T 44538-2024

标准名称：碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

标准类型：推荐性

标准英文：Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry

标准状态：即将实施

发布日期：2025-04-01

实施日期：2024-09-29

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：机械制造

国内标准分类号：A29

国际标准分类：25.220.99

技术归口：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司安徽纯源镀膜科技有限公司广东电网有限责任公司 纳狮新材料有限公司 中国科学院深圳先进技术研究院 广州今泰科技股份有限公司

起草人：段海涛 贾丹 沈学忠 高明 王彦峰 王流火 骆小双 尤锦鸿 曹一莹张心凤詹胜鹏凃杰松杨田陈辉易娟苏东艺