GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

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标准编号：GB/T 44839-2024

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials

标准状态：即将实施

发布日期：2025-02-01

实施日期：2024-10-26

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L59

国际标准分类：31.080.99

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国科学院微电子研究所苏州容启传感器科技有限公司北京大学昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司东南大学中关村光电产业协会昆山双桥传感器测控技术有限公司深圳市道格特科技有限公司 中机生产力促进中心有限公司 武汉大学 上海交通大学 苏州晶方半导体科技股份有限公司 苏州慧闻纳米科技有限公司 工业和信息化部电子第五研究所 芯联集成电路制造股份有限公司

起草人：周维虎 李根梓 霍树春 高成臣 杨剑宏 陈志文 聂萌 张平平 陈思 王冰 孙宏霖刘胜刘景全陈立国焦斌斌黄庆安陈晓梅卢永红谢红梅刘志广