GB/T 14851-2025 电子特气 磷化氢

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标准编号：GB/T 14851-2025

标准名称：电子特气 磷化氢

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic specialty gas—Phosphine

标准状态：即将实施

发布日期：2025-10-01

实施日期：2025-03-28

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

标准类别：产品

代替标准：GB/T 14851-2009

起草单位：西南化工研究设计院有限公司上海正帆科技股份有限公司福建久策气体股份有限公司苏州金宏气体股份有限公司湖北和远气体股份有限公司大连保税区科利德化工科技开发有限公司昊华气体有限公司西南分公司上海申南特种气体有限公司大连大特气体有限公司联雄投资(上海)有限公司上海市计量测试技术研究院浙江东开半导体科技有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 广东华特气体股份有限公司 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 江西华特电子化学品有限公司 全椒南大光电材料有限公司 浙化省标准化研究院 宿州伊维特新材料有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司 上海飞择科技有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 和立气体（上海）有限公司 西南化工研究设计院有限公司武汉分公司

起草人：孙福楠 曾庆腾 王百林 曹素英 倪珊珊 万娟秀 孙猛 戴玺 孙建 施旖旎 陈洁 吴靓 杨康 唐中伟 姜阳 李春华 易达文 李阳 高静 赖晓峰 王科 熊壮 李东升傅铸红何经余沙婷朱明王新喜徐孝天方强赵趫郑新权方华李扬黄辉施卫丰宫兵王大为梁永强梁成科谭依玲周鹏云