SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳

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标准编号：SJ/T 11517-2015

标准名称：电子工业用气体 一氧化碳

标准状态：现行

发布日期：2015-04-29

实施日期：2015-09-30

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：电子

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等

起草人：万华、王新鹏、吴平修 等