YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

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标准编号:YS/T 893-2013

标准名称:电子薄膜用高纯钛溅射靶材

标准状态:现行

发布日期:2013-10-16

实施日期:2014-02-28

标准语言:中文

发布部委:工业和信息化部

行业分类:有色金属

所属部委:工业和信息化部

国内标准分类号:H64

国际标准分类:77.150.50

技术归口:全国有色金属标准化技术委员会

发布部门:工业和信息化部

行业标准:无

制修订:制定

代替标准:

起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司

起草人:何金江、董亭义 等

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