YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

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标准编号：YS/T 839-2012

标准名称：硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

标准状态：现行

发布日期：2012-11-06

实施日期：2013-02-28

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：有色金属

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：H68

国际标准分类：77.120.99

技术归口：全国有色金属标准化中心

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

起草人：高英、武斌 等