GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
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标准编号:GB/T 14851-2009
标准名称:电子工业用气体 磷化氢
标准类型:推荐性
标准英文:Gas for electronic industry - Phosphine
标准状态:现行
发布日期:2010-05-01
实施日期:2009-10-30
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:化工技术
国内标准分类号:G86
国际标准分类:71.100.20
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:产品
代替标准:GB/T 14851-1993
起草单位:中国计量科学研究院大连光明化工研究院 西南化工研究设计院
起草人:周泽义 孙福楠 周鹏云
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