GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
GB/T 24525-2009 炭素材料电阻率测定方法
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GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
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GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
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GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
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GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
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GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
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GB/T 24527-2009 炭素材料内在水分的测定
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GB/T 24526-2009 炭素材料全硫含量测定方法
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GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
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GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法
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GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法
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GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法
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GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
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GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
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GB/T 24579-2009 酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物
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GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
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GB/T 24576-2009 高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
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GB/T 11072-2009 锑化铟多晶、单晶及切割片
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