GB/T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

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标准编号：GB/T 24581-2022

标准名称：硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method

标准状态：现行

发布日期：2022-10-01

实施日期：2022-03-09

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 24581-2009

起草单位：乐山市产品质量监督检验所江苏中能硅业科技发展有限公司新特能源股份有限公司四川永祥股份有限公司江苏鑫华半导体材料科技有限公司新疆协鑫新能源材料科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司江苏秦烯新材料有限公司 青海芯测科技有限公司 亚洲硅业（青海）股份有限公司 有研半导体硅材料股份公司 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 洛阳中硅高科技有限公司 国标（北京）检验认证有限公司 宜昌南玻硅材料有限公司 义乌力迈新材料有限公司

起草人：梁洪 赵晓斌 魏东亮 王彬 李素青 李朋飞 魏强 楚东旭 刘红 何建军 万涛薛心禄邱艳梅杨素心赵培芝王永涛周延江刘文明皮坤林