GB/T 26069-2022 硅单晶退火片

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标准编号：GB/T 26069-2022

标准名称：硅单晶退火片

标准类型：推荐性

标准英文： Annealed monocrystalline silicon wafers

标准状态：现行

发布日期：2022-10-01

实施日期：2022-03-09

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H82

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 26069-2010

起草单位：有研半导体硅材料股份公司浙江众晶电子有限公司开化县检验检测研究院浙江金瑞泓科技股份有限公司中环领先半导体材料有限公司 山东有研半导体材料有限公司 洛阳鸿泰半导体有限公司 浙江中晶科技股份有限公司 浙江海纳半导体有限公司

起草人：孙燕 宁永铎 黄笑容 王振国 由佰玲 楼春兰陈锋张海英潘金平