GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

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标准编号：GB/T 30453-2013

标准名称：硅材料原生缺陷图谱

标准类型：推荐性

标准英文：Metallographs collection for original defects of crystalline silicon

标准状态：现行

发布日期：2014-10-01

实施日期：2013-12-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H80

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：有研半导体材料股份有限公司南京国盛电子有限公司万向硅峰电子股份有限公司陕西天宏硅材料有限责任公司 东方电气集团峨眉半导体材料有限公司 杭州海纳半导体有公司 四川新光硅业科技有限责任公司 中国有色金属工业标准化计量质量研究所

起草人：孙燕 曹孜 谭卫东 黄笑容 翟富义杨旭